ALIO纳米级精密运动控制系统-旋转运动平台

六自由度精密位移台 

兼具XY平台的精度和三轴tripod的刚度，该系统具有高度的灵活性和精度，系统有6个自由度（6DOP）,并拥有无以伦比的速度，这些特点拓宽了该系统的应用场景

XY运动平台

ALIO的XY平台可以采用机械轴承，也可以采用气浮导轨，它们配有高分辨率编码器，由线性马达驱动，实现无摩擦运动。

Z轴平台

ALIO的Z轴升降平台可以取代精度欠佳的Z直平台和滚珠丝杆平台。ALIO的垂直运动平台具有高精度和高重复性。该产品配有线性伺服马达或音圈马达，气浮配重或磁力弹簧。

旋转运动平台

ALIO旋转控制平台可以取代精准确度欠佳的用减速机驱动的系统，无反向作用力，可直接驱动运动平台。 ALIO旋转平台利用和线性运动平台相同的高精度线性编码器技术和精密交叉滚子轴承。该产品采用直驱电机，配机械导轨或气浮导轨。

真空运动平台

ALIO产品可用于高真空和超高真空环境（HV或UHV）。除气浮导轨系统外，ALIO的其他产品均适用于超高真空环境。真空运动控制系统的材料通常选择6061裸铝和300或400系列的不锈钢。真空室中的位置反馈系统得经过特别设计，以确保性能和不漏气。

ALIO系统

ALIO的μII系列产品可用于传统的单轴、堆叠的平台，提供高精度的额外长行程。